【um是什么单位】um是长度单位,um实际说的是μm 。μm中文名称是微米 。符号[micron] , 读作[miú] 。1微米相当于1米的一百万分之一(此即为“微”的字义)1微米相当于1米的一百万分之一 。
微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm(10-6m)的体系 。20世纪60年代后期,研究人员实现了机械装置的小型化和批量制作,这项技术给机械领域带来的进步,就像集成电路技术给电子领域带来的一样 。微米技术也称为微机电系统(MEMS),其始于1969年美国西屋(Westinghouse)公司设计的谐振栅—场效应晶体管 。接下来的十年中,一些制造厂商开始使用体硅蚀刻技术生产压力传感器 。
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