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中国有光刻机 ， 位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机 ， 形成产品系列初步实现海内外销售 。正在进行其他各系列产品的研发制作工作 。
光刻机（Mask Aligner）是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备 。其分为两种 ， 一种是模板与图样大小一致的contact aligner ， 曝光时模板紧贴晶圆；另一种是利用类似投影机原理的stepper ， 获得比模板更小的曝光图样 。高端光刻机被称为“现代光学工业之花” ， 制造难度很大 ， 全世界只有少数几家公司能制造 。
【中国光刻机现在多少纳米 中国有光刻机吗】
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