硅片清洗 硅片清洗的目的


硅片清洗 硅片清洗的目的

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小伙伴们好,最近小跳发现有诸多的小伙伴们对于硅片清洗这个都颇为感兴趣的,那么小跳今天就来为大家梳理下具体的一些信息一起来看看吧 。
1、单晶片和外延晶片的保存;抛光后的单晶片或外延片可以放入同样大小的小塑料袋中 , 每袋一片或两片背靠背 。然后,把小塑料袋叠好,放进一个定制大小的纸箱里 , 在箱子上部多余的空间里放一些小袋硅胶,防止受潮 。在盖子关闭后,
2、写批次、型号、入库时间、数量等 。在盒盖的表面 。
3、使用单晶片和外延片时,只需根据需要从仓库中取出,然后小心翼翼地从塑料袋中取出,放入化学瓷坩埚中进行化学清洗,最后用去离子水冲洗干净,晾干即可 。
4、如果是融化的小芯片,只需要用小烧杯或玻璃培养皿进行超声波清洗后再烘干即可 。如果干燥后短时间存放,直接放在干净的玻璃培养皿内盖上,然后放入带磨口的玻璃干燥器中 。
5、如果干燥后存放时间较长 , 在干净的玻璃培养皿中放一层定性滤纸 , 然后在定性滤纸上放一层小芯片,表面覆盖一层干净的定性滤纸,再放一层小芯片 。反正这个是交替叠放,直到满为止 。
6、最后盖上配套的玻璃培养皿,放入带磨口的玻璃干燥器或真空干燥箱中保存 。
7、使用小芯片时,只需取出用丙酮——乙醇超声波机清洗 , 最后用去离子水冲洗干净,晾干即可 。
【硅片清洗 硅片清洗的目的】本文到此结束 , 希望对大家有所帮助 。