EDX原理及图谱代表了什么意思

【EDX原理及图谱代表了什么意思】EDX又名显微电子探针 , 是一种分析物质元素的仪器 , 常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征X射线,由于不同元素原子的能级结构不同,因此产生特征X射线的特征不同 , 据此可对样品进行定性分析定性分析元素周期表中Be以上的物质元素 。不同元素在不同位置出现峰 , 峰的高低代表元素的相对含量大小 。